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无锡奥曼特——半导体行业广泛应用哪种清洗技术
半导体行业广泛使用的是哪种清洗技术?半导体行业广泛使用的是
超声波清洗技术
,无锡奥曼特专业生产超声波清洗机。
关于硅片
超声波清洗技术
以前很多厂家都用手洗的方法,这种方法人为的因素较多,一方面容易产生碎片,经济效益下降,另一方面手洗的硅片表面洁净度差,污染严重,使下道工序化抛腐蚀过程中的合格率较低。所以,硅片的清洗技术引起了人们的重视,找到一种简单有效的清洗方法是当务之急。专业介绍了一种
超声波清洗技术
,其清洗硅片的效果显著,是一种值得推广的硅片清洗技术。
超声波清洗机的清洗方式和清洗温度
普通的清洗方法一般不能达到孔内,而孔内芯料的反应生成物及其他污染物会在后序工艺中会产生重复污染。无论是采用有机溶剂或是清洗液清洗都容易引入新的污染源,然而利用
超声波清洗技术
却可以实现无重复污染,而且能深入MCP孔内的效果。对不同材料及孔径的MCP应采用频率、声强可调的超声波进行实验,以确定实际工艺参数。
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