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奥曼特

15年硅片清洗干燥解决方案综合服务商专注提供研发·设计·制造·销售一站式服务
半导体硅片甩干机

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  • 全自动硅片旋转冲洗甩干机
全自动硅片旋转冲洗甩干机

产品介绍:

硅片旋转冲洗甩干机用于清洗甩干太阳能硅片和半导体硅片,是湿法清洗工艺的主要设备,目前主要机型有四工位,六工位和八工位系列。主要工作过程为:喷淋旋转冲洗+离心甩干+氮气加热烘干。

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产品简介 / Introduction

技术参数

型号 model 半导体行业 Semiconductor 太阳能行业 Solar
SG09 SG13 SG11 SG12
工作腔数量 4 4 8 8
硅片规格   mm 2.5", 3", 4", 5", 6",8" 12" 125, 156 25片盒 125, 156 50片盒
旋转速度   r/min 0-1000 0-600 0-900 0-900
氮气压力 0.3
去离子水压力 0.3
电阻率监控 可选 optional
氮气密封 Nitrogen seal 有 Yes
空/氮气烘干 有 Yes
氮气加热方式 热传导 Heat exchange
氮气加热温度 30-120℃ PID控温 30-120℃ PID control
辅助加热系统 有 Yes
腔体电化学抛光 可选 optional
电机驱动 变频调速 Speed regulating by frequency conversion
控制系统 PLC可编程控制器 PLC
控制显示器 液晶触摸屏 LCD touch screen
外型尺寸(长x宽x高)mm 1040x1095x894 1636X1552X1007 1250x1296x970 1376x1296x1007
电源功率   kw 5 6 6 6
电压 / 频率 AC380V 50HZ (三相四线)  / AC380V 50HZ (3-phase)

结构特点

1. 整个甩干过程一般只需5-6分钟;
2. 设备的外露面为进口PP板,外形美观,耐酸气腐蚀;
3. 工作腔、旋转支架和装片盒等主要部件采用耐腐蚀不锈钢,并且表面电化学抛光处理;
4. 旋转机构经过精密动平衡处理,保证工作时的平衡性;
5. 采用特种减振器,精密减振和阻尼,保证系统的稳定;
6. 采用了洁净化处理技术,阀门、接头和管道采用不锈钢、PFA高纯管件和聚四氟;
7. 采用油压缸自动开门关门, 平稳安全可靠;
8. 采用油浴炉或气体加热器加热氮气,热量足,温度稳定,加热温度实时监控,并显示在液晶屏上,并有双重安全保护;
9. 特制喷头和气液流体控制系统, 全自动切换;
10. 顶盖采用电加热板辅助加热,保证顶盖烘干后不滴水;
11. 工作腔采用防静电控制。

电气控制

1. 采用PLC可编程控制器和触摸屏控制,整个过程智能化;
2. 程序设计可靠, 速度调节、温度调节和时间调节等都可以在触摸屏上设定、修改和保存;
3. 采用变频技术控制转速,加减速平稳,清洗和甩干速度按工艺要求设定,并实时显示在液晶屏上;
4. 采用电子制动,制动时间控制在15秒之内;
5. 控制软件具有故障实时显示和报警功能;
6. 采用了工作过程状态监控,门位置状态监控与互锁,氮气加热温度实时监控,紧急停止按钮等安全措施。

产品展示

全自动硅片旋转冲洗甩干机

全自动硅片旋转冲洗甩干机

公司优势

领军品牌 实力保障

品牌标杆品牌 实力保障

15年行业经验,专业研发生产半导体/太阳能光伏清洗设备

国家高新技术产品,率先通过ISO9001质量体系认证

下设2个分厂:新余市奥曼特科技有限公司、无锡凌晶硅科技有限公司

销售及服务网络遍布全国,为您提供优越技术培训·售后服务

专业研发 非标定制

定制专业研发 非标定制

由硕士高级工程师等组成的研发团队,专业过硬,实力雄厚

率先建立国内硅片切割加工设备生产实验线

2007年“硅片旋转冲洗甩干机”评为国家高新技术产品

荣获多项硅片加工设备专利,研发定制技术时刻保持行业前沿

非标定制,可根据客户需求进行量身定制清洗解决方案

匠心工艺 国际品质

品质匠心工艺 国际品质

拥有超8000㎡专业化规模生产基地,设备齐全

严格按照ISO9001:2000标准质量管理体系进行设计·生产·服务

设备产品性能稳定,使用寿命长,质量可靠

自主研发,自有工厂,厂家直销,性价比高

免费定制 贴心售后

服务免费定制 贴心售后

根据客户需求免费设计图纸/定制解决方案

奥曼特全线产品享受免费上门安装调试

每款产品配套有调试操作视频,手把手教您操作使用

7*24小时客服快速响应,专业团队随时待命,确保设备正常运行

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无锡市奥曼特科技有限公司

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传真:0510-85418265

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