一、产品特点及用途

1.产品特点

该设备是一种新型工业级洁净干燥设备，采用独特的内外层分体结构结合内循环风道设计，通过耐高温超高效过滤器H.E.P.A不断对内部进行自净化过滤，从而形成高洁净、温度均匀的密闭的高温热风烘烤环境。

2. 产品用途

产品应用于光伏行业PECVD石墨舟的烘干，是石墨舟酸清洗后烘干的必备设备。

二、产品详细参数;

1.箱体结构

1.1.内胆：材质为厚度1.5mm的SUS316L不锈钢，表面特氟龙涂层，涂层厚度60微米，使用过程不脱落。也可以根据客户要求定制2507耐高温耐腐蚀双相不锈钢，表面特氟龙涂层。箱体内胆氩弧焊焊接成型，焊点打磨抛光处理，能保证胆内密封性。

1.2.外壳材质：外部采用1.5mm厚优质冷轧钢板经防锈处理后喷塑，也可选用不锈钢材质。

1.3.保温材质：采用优质硅酸铝棉，保温厚度为150mm，保温性能好。

1.4 载物层架：可根据石墨舟大小调节层间距，层架采用导向式，可抽拉至50%以上。层架采用厚度2.5mm的SUS316L不锈钢方管，表面特氟隆涂层。

2. 温度控制系统：PLC控制，人机界面显示实时存放状态，温度和时间可设置。带超温报警、风机过流保护、相序和缺相保护、漏电保护、负载短路保护。

3. 控温方式

3.1.信号来源：采用PT100传感器±0.5%。

3.2.输出被控组件：SSR固态无节点输出，确保加热功率精准。

4.箱内热风循环系统

4.1. 送风方式：箱内采用水平送风。

4.2. 风道结构：风道两侧采用高密度冲孔风板，精准控制导流板角度，确保箱内温度均匀性。

4.3. 送风装置：采用大功率三相异步耐高温型长轴静音马达+大口径不锈钢涡轮扇叶，涡轮经动平衡处理，确保运风平稳 ，噪声≤ 65dB。

4.4. 送风装置安全保护系统：带超温过载过流保护功能，确保马达及风机的使用寿命和安全性能。

4.5  电加热系统：采用覆套式不锈钢无尘化电热发生器，洁净不产尘。

5.洁净循环系统

5.1在进气口安装耐高温高效过滤器，0.5um直径PARTICLE，过滤效率99.97%，箱内洁净度可达Class 1000。

5.2排气口：排气管尺寸100-150mm。用户可选择安装强制抽风机，以达到快速降温效果。排气口通道有防止冷凝液的滴落设计。

5.3压差计：配有膜压式气压表，显示管道排风压力。

 6.电气和安全保护系统

6.1. 采用三重超温保护系统，确保箱体在运行过程中的整体安全性能。

6.2. 加热保护：超温报警。

6.3. 超温防止器（独立限温，超温断电）；

6.4. 总电源相序和缺相保护。

6.5.马达过电流保护；

6.6.电热过电流保护；

6.7 采用三菱PLC，施耐德低压电气，欧姆龙相序继电器等品牌电气。

6.8 可选配MES系统。