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全自动硅片旋转冲洗甩干机

作者: 编辑: 来源: 发布日期: 2018.01.15
信息摘要:
硅片旋转冲洗甩干机用于清洗太阳能硅片和半导体硅片,是湿法清洗工艺的主要设备,目前主要机型由四工位,六工位和八工位系列。主要工作过程为:喷淋旋…

硅片旋转冲洗甩干机用于清洗太阳能硅片和半导体硅片,是湿法清洗工艺的主要设备,目前主要机型由四工位,六工位和八工位系列。主要工作过程为:喷淋旋转冲洗+离心甩干+氮气加热烘干。

【结构特点】

1、整个甩干过程一般只需要5-6分钟;

2、设备的外露面为进口的PP板,外形美观,耐酸气腐蚀;

3、工作腔,旋转支架和装片盒等主要部件采用耐腐蚀不锈钢,并且表面电化学抛光处理;

4、旋转机构经过精密动平衡处理,保证工作时的平衡性;

5、采用特种减震器,精密减震和阻尼,保证系统的稳定;

6、采用洁净化处理技术,阀门,接头和管道采用不锈钢,PEA高纯管件和聚四氟;

7、采用油压缸自动开门关门,平稳安全可靠;

8、采用油浴炉或气体加热器加热氮气,热量足,温度稳定,加热温度实时监控,并显示在液晶屏上,并有双重安全保护;

9、特制喷头和气液流体控制系统,全自动切换;

10、顶盖采用电加热板辅助加热,保证顶盖烘干后不滴水;

11、工作腔采用静电控制。

全自动硅片旋转冲洗甩干机

【电气控制】

1、采用PLC可编程控制器和触屏控制,整个过程智能化;

2、程序设计可靠,速度调节,温度调节和时间调节等都可以在触摸屏上设定,修改和保存;

3、采用变频技术控制转速,加减速平稳,清洁和甩干速度按工艺要求设定,并实时显示在液晶屏上;

4、采用电子制动,制动时间控制在15秒内;

5、控制软件具有故障实时显示和报警功能;

6、采用了工作过程状态监控,门位置状态监控与互锁,氮气加热温度实时监控,紧急停止按钮等安全措施。

无锡市奥曼特科技有限公司是一家以设计自动化设备为主的科技公司,一直致力于各类小型自动化设备的研发、设计和制造。奥曼特有多年太阳能硅片清洗设备和电池线设备制造的经验,可以为客户提供更适合的产品和解决方案。咨询热线:0510-81000181

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