一家低调实干的大连本土企业，历经磨砺与沉淀终成产业振兴之利器——近日，在南京举办的“2019世界半导体大会暨中国半导体市场年会”上，大连华邦化学有限公司的气体纯化器荣获“中国半导体创新产品和技术奖”。据悉，该企业是辽宁省最近两年和大连市最近三年唯一获此奖项的单位。

对于该企业的创始人、总经理侯鹏来说，手捧奖杯的那一瞬间，让他更自豪的是：咱们大连自主生产的超纯气体装备，凭借世界领先的9N级纯度和高稳定性，实现了我国半导体高端装备国产化领域的又一重大突破，由此打破了国外多年垄断。

高纯度氮气、氢气、氧气、氩气等气体是超大规模集成电路、平面显示器和半导体器件等电子工业生产必不可少的原材料，而这些高纯度电子气体制备的关键设备——气体纯化器，目前世界上只有少数几个国家能生产，并对我国限制出口。如被断供，必将对中国半导体产业的发展造成不可估量的影响。毕业后一直从事工业气体设备研发和生产的侯鹏心里一直憋着一股劲：要拿出属于中国人的9N气体纯化器，不再看外国企业的脸色！

2013年，从一间办公室、五张办公桌和6个人的创业团队开始，侯鹏和他的伙伴开始了艰难的探索。其间历经研发失败、市场冷遇，甚至竞争对手的不屑等等。但华邦团队凭借着“一生只为做好纯化器”的信念，在大连半导体协会、市工信局、高新园区政府的扶持下，最终以世界一流的产品和服务傲然屹立于行业前端，打破半导体气体纯化行业的国外垄断局面。

经6年的努力，大连华邦化学公司的9N级气体纯化器，开辟出全新工艺制备技术路径，可生产出9N级电子气体，达到国际同类产品顶级水平，实现进口替代，而且价格比国际同类产品降低30%。据大连华邦化学公司技术总监李文强介绍，目前，半导体领域芯片线宽已经做到7到5纳米，对气体纯度要求越来越高，气体纯度要求大于9N，相当于是10亿个气体分子中，所包含的杂质分子不能超过1个，这个纯度在国际上仅有少数几个企业的纯化器能够做到，目前我国也能做到了！

小企业承载大梦想。大连华邦化学公司的气体纯化器，如今已得到英特尔、海力士、京东方等十几家国内外顶级半导体企业的认可和应用。公司下一步将逐步向更广阔的超纯气体应用领域拓展。据侯鹏介绍，华邦纯化器供不应求，企业将启动投资2亿元的扩产计划，目标是将产能扩大到现在五倍，并且进一步加大科研投入，争取在未来五到十年，在全领域上超越国际先进水平，满足半导体技术更新换代需求，为中国半导体行业发展保驾护航。