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奥曼特半导体清洗设备如何给台面布局

作者: 编辑: 来源: 发布日期: 2018.01.25
信息摘要:
半导体清洗设备如何给台面布局。奥曼特专家为您讲解一下:腐蚀性较强槽体设置在靠近抽风口处,水槽、吹干槽靠近操作者一侧。

半导体清洗设备如何给台面布局。奥曼特专家为您讲解一下:腐蚀性较强槽体设置在靠近抽风口处,水槽、吹干槽靠近操作者一侧。

常规条件下槽与槽之间的距离(前后 槽最大边沿之间为80mm—100mm,左右 槽最大边沿之间为100mm—120mm,根据所配置元器件的安装空间、客户现场尺寸规定,可以调整以上距离);

水枪配在靠近酸槽一侧,氮气枪配在靠近水槽、干燥槽一侧。一般情况下设备的气枪弹簧管为PU材质,不耐酸气,目前大都把水汽枪放在设备的侧面或前面(放前面的话不要影响操作机台)。

奥曼特半导体清洗设备如何给台面布局

槽体上配的加热器、超声、浮子、探头、管道等均要设置在槽的后侧(即远离操作者这一侧),取放工件时不易将液体滴落上去,也避免工件刮蹭到,缩短工件放置的位置与机台前部的距离,便于操作者工作。

如台面需分成多个区域,之间隔断根据客户需求可以做成固定式、多片移到重叠式,台面板设计合理、美观、便于取放、保证平整度。

无锡市奥曼特科技有限公司拥有一支由硕士、高级工程师等组成的研发团队,率先建立国内硅片切割加工设备生产实验线,2007年自主研发制造的“硅片旋转冲洗甩干机”被评为国家高新技术产品,荣获多项硅片加工设备专利,凭借雄厚的设计与开发能力,成为在国内外该行业领域的领军品牌。咨询热线:0510-81000181

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