功能介绍：1、工作原理：以流量可调的水为介质柔性接触于硅片，利用水流动和斜面使硅片滑入料盒内，料盒由伺服电机驱动的滚珠丝杠带动精确上移，使硅片准确的滑入三工位的料盒内；2、水系统循环用水，经过初虑后再经虑袋式过滤机循环使用；3、采用PCL可编程控制器；4、配置交流伺服电机、滚珠丝杠、直线导轨，定位、传动精度高；5、采用高灵敏度传感器进行扫描监控；6、设有极限位置报警；