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全自动半导体硅片甩干机维护事项
作者: 编辑: 来源: 发布日期: 2018.08.20
信息摘要:
全自动半导体硅片甩干机维护事项:1、按下屏幕右方的OPEN键,使甩干机上盖打开2、切断设备的电源3、用14#扳手把甩盘卸下4、用无尘纸清理腔…

全自动半导体硅片甩干机 维护事项:

甩干机8-17

1、按下屏幕右方的OPEN键,使甩干机上盖打开

2、切断设备的电源

3、用14#扳手把甩盘卸下

4、用无尘纸清理腔内碎片

5、用百洁布将甩盘下及周围的锈迹清理干净

6、用无尘纸沾用酒精将腔内、甩盘及周边清理干净

7、用14#扳手将甩盘装到设备上

8、检查排废管道是否漏液,如漏液需上紧接头或更换管道 

9、水管道是否漏水,如果是请重新上紧或更换水管

10、检查氮气压力是否保持在0.4-0.6MPA

11、检查控制面板上的各种操作按钮,如有损坏及时更换

12、检查及清洁电气原器件,避免造成漏电及局部短路,接触不良

13、保证设备可靠接地

14、整理现场

15、对设备通电,试机

 使用中注意事项:不要把工具等落在甩盘内

                            电机上的契型带半年需更换一次

无锡奥曼特科技有限公司专业生产全自动半导体硅片甩干机,欢迎来电。

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