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8工位3-8寸半导体硅片晶圆旋转冲洗甩干机

产品介绍:硅片旋转冲洗甩干机用于清洗甩干太阳能硅片和半导体硅片,是湿法清洗工艺的主要设备,目前主要机型有四工位,六工位和八工位系列。主要工作过程为:喷淋旋转冲洗+离心甩干+氮气加热烘干。

6工位3-8寸半导体硅片晶圆旋转冲洗甩干机

产品介绍:硅片旋转冲洗甩干机用于清洗甩干太阳能硅片和半导体硅片,是湿法清洗工艺的主要设备,目前主要机型有四工位,六工位和八工位系列。主要工作过程为:喷淋旋转冲洗+离心甩干+氮气加热烘干。

12寸半导体晶圆,蓝宝石双工位甩干机

产品介绍:DSG系列旋转冲洗甩干机是高洁净度冲洗甩干设备,该产品主要用于硅圆片、LED硅片、太阳能电池等其他类似材料的高洁净度冲洗甩干,具有单腔、双腔两种结构(也可按用户要求配置)。

8寸半导体晶圆,蓝宝石双工位甩干机

产品介绍:DSG系列旋转冲洗甩干机是高洁净度冲洗甩干设备,该产品主要用于硅圆片、LED硅片、太阳能电池等其他类似材料的高洁净度冲洗甩干,具有单腔、双腔两种结构(也可按用户要求配置)。

3-6寸半导体晶圆,蓝宝石双工位甩干机

产品介绍:DSG系列旋转冲洗甩干机是高洁净度冲洗甩干设备,该产品主要用于硅圆片、LED硅片、太阳能电池等其他类似材料的高洁净度冲洗甩干,具有单腔、双腔两种结构(也可按用户要求配置)。

12寸半导体晶圆,蓝宝石单工位甩干机

产品介绍:DSG系列旋转冲洗甩干机是高洁净度冲洗甩干设备,该产品主要用于硅圆片、LED硅片、太阳能电池等其他类似材料的高洁净度冲洗甩干,具有单腔、双腔两种结构(也可按用户要求配置)。

8寸半导体晶圆,蓝宝石单工位甩干机

产品介绍:DSG系列旋转冲洗甩干机是高洁净度冲洗甩干设备,该产品主要用于硅圆片、LED硅片、太阳能电池等其他类似材料的高洁净度冲洗甩干,具有单腔、双腔两种结构(也可按用户要求配置)。

3-6寸半导体晶圆,蓝宝石单工位甩干机

产品介绍:DSG系列旋转冲洗甩干机是高洁净度冲洗甩干设备,该产品主要用于硅圆片、LED硅片、太阳能电池等其他类似材料的高洁净度冲洗甩干,具有单腔、双腔两种结构(也可按用户要求配置)。

全自动硅片清洗机

主要特点:1.工艺流程:进料→超声水洗(氮气鼓泡+抛动)→超声水洗(氮气鼓泡+抛动)→超声碱洗(抛动)→超声碱洗(抛动)→超声水洗(抛动)→超声水洗(抛动)→超声水洗(抛动)→超声水洗(抛动)→超声水洗(抛动)→出料2.本清洗机是一个全自动的清洗设备,整个工作过程采用PLC自动控制3.大型触摸屏直观显示,操作状态一目了然4.温度PID控制,控温精度高5.可根据客户要求定制

插片机

功能介绍:1、工作原理:以流量可调的水为介质柔性接触于硅片,利用水流动和斜面使硅片滑入料盒内,料盒由伺服电机驱动的滚珠丝杠带动精确上移,使硅片准确的滑入三工位的料盒内;2、水系统循环用水,经过初虑后再经虑袋式过滤机循环使用;3、采用PCL可编程控制器;4、配置交流伺服电机、滚珠丝杠、直线导轨,定位、传动精度高;5、采用高灵敏度传感器进行扫描监控;6、设有极限位置报警;