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全自动半导体硅片甩干机
维护事项:1、按下屏幕右方的OPEN键,使甩干机上盖打开2、切断设备的电源3、用14#扳手把甩盘卸下4、用无尘纸清理腔内碎片5、用百洁布将甩盘下及周围的锈迹清理干净6、用无尘纸沾用酒精将腔内、甩盘及周边清理干净7、用14#扳手将甩盘装到设备上8、检查排废管道是否漏液,如漏液需上紧接头或更换......
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