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关于硅片超声波清洗技术
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以前很多厂家都用手洗的方法,这种方法人为的因素较多,一方面容易产生碎片,经济效益下降,另一方面手洗的硅片表面洁净度差,污染严重,使下道工序化抛腐蚀过程中的合格率较低。所以,硅片的清洗技术引起了人们…
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半导体晶圆代工企业之间的竞争不断升级,行业第一、第二的台积电和三星电子展开了“纳米竞争”。
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